反應燒結法生產氮化硅制品是將磨細的硅粉（粒度一般小于80μm），用機壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮氣中加熱1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響