利用氣相反應生成納米顆粒,如能使顆粒有效而且致密地沉積到模具表面,累積到一定厚度即成為制品,或者先使用其它方法制成一個具有開口氣孔的坯體,再通過氣相沉積工藝將氣孔填充致密,用這種方法可以制造各種復合材料。由于固相顆粒的生成與成形過程同時進行,因此可以避免一般超細粉料中的團聚問題。在成形過程中不存在排除液相的問題,從而避免了濕法工藝帶來的種種弊端。